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感应耦合等离子刻蚀系统(ICP)正式运行通知
2018-05-14 17:40   分析测试中心 审核人:   (点击: )

校分析测试中心建设的感应耦合等离子刻蚀系统(ICP)免费试运行于5月13日结束,试运行期间完成了理学院、机电学院等学院的8个课题组104个样品的样品刻蚀,主要的样品种类有Si、SiO2、SOI、石墨烯等,使用工艺包括BOSCH Si etch、Mix gas Si etch、SiO2RIE etch、SiO2ICP etch、O2plasma etch、Ar plasma etch。5月15日起,面向校内外用户正式运行,欢迎全校师生预约测试!

一、设备信息

设备名称:感应耦合等离子刻蚀系统(ICP);

品 牌:牛津仪器Oxford Instruments;

型 号:Plasma Pro 100 Cobra 300;

样品说明和要求:见预约系统ICP设备的公告栏;

设备存放地址:长安校区实验大楼B105超净室;

设备管理老师:王杰;

测试咨询电话:029-88430850;

二、收费标准

1.校内用户:400元/小时(中心工程师操作);如用户经过培训和授权后,可自行操作,费用为300元/小时;校内用户培训费用500元/人。

2.校外用户:1000元/小时,校外用户暂不允许自行操作。

3.为提高用户与设备的熟悉程度,使设备更好地服务于用户的课题内容,鼓励用户经过培训后自行操作设备。培训时间为每周五下午14点至18点,为保障培训质量,每次限定2人。培训内容仅包括设备操作培训,具体工艺内容欢迎与工程师进行讨论,工艺刻蚀结果需用户自行预约相关分析测试设备进行表征。

注:(1)收费标准按照30分钟为基本时间单位,不足30分钟按照30分钟收取。(2)实验过程中的相关耗材用户自备,使用中心耗材按照成本价收取。

三、设备技术指标

1、反应腔室:温控精度<=±1℃;下电极控温范围不小于-30℃~80℃(冷水机控温,精度± 0.5 °C),更高温度可以采用下电极的电加热功能。基板电极具备加热与冷却功能。

2、真空系统:工艺室极限真空优于≤9×10-7mbar,配置Edwards STPA1603CV分子泵与Edwards IGX100N干泵;预真空室极限真空优于0.1mbar,采用Edwards nXDS15i干泵。能够实现预真空室与工艺室之间晶片的传送。100mT薄膜电容真空计(1.33 x 10 to 1.33 x 10-6Pa);20分钟内压强<10-4Pa;自动压力控制。

3、预抽室:Edwards nXDS15i干泵,抽速≥15m³/hour

4、气体输送系统:O2, Ar, CHF3, SF6, C4F8,CF4共6路气体;质量由MFC控制,控制精度优于1%。

5、射频电源:偏压发生器13.56兆赫兹,300瓦;感应耦合等离子(ICP)发生器,功率:13.56兆赫兹,3000瓦。

6、工艺要求:刻蚀均匀性,片内≤±5%、片与片≤±5%、批与批≤±5%。

四、工艺指标

Parameter

High-rate DSiE

High Aspect Ratio DSiE

SiO2 ICP mode

SiO2 RIE mode

SiNx (PECVD)

SiC

Process Chemistry

工艺气体

SF6-C4F8

Bosch

SF6-C4F8

Bosch

C4F8-O2

CHF3-Ar

CHF3-SF6

SF6-O2

Feature Size µm (Trench)特征尺寸

50

2

10

10

10

10

Exposed Area /%

< 5

< 5

<100

<100

<10

<10

Etch rate /µm/min刻蚀速率

>8

>1

>0.2

>0.03

>0.05

>0.1

PR Selectivity

选择比

>120

>20

>1

>3

>2

>2

SiO2 Selectivity

SiO2选择比

>200

>40

NA

NA

NA

>0.5

Profile control

轮廓角度

90°±1°

90°±0.5°

>87°

>87°

>87°

>85°

Scallop/roughness /nm

侧壁粗糙度

< 400

< 100

NA

NA

NA

NA

Uniformity (in-wafer) /±%

片内均一性

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

Reproducibility (run-run) /±%

重复性

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

< 5%

Aspect Ratio

深宽比

>1

<50

NA

NA

NA

NA

本中心秉承“竭诚为全校双一流建设服务”之原则,力求周到顺畅。但一些运行模式和办法仍处于摸索阶段,需经一段时间的运行检验,如效果不理想,会即时更改革新。欢迎校内师生多提宝贵意见和建议!

欢迎全校师生预约测试!

校分析测试中心

2018年5月14日

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